半導体用ハロゲンランプ
半導体用ハロゲンランプは、半導体製造工程で使用される特殊なハロゲンランプで、高精度な加熱処理として使用されています。タングステンフィラメントを用い、内部にハロゲンガスを封入することで、蒸発したタングステンを再付着させフィラメントの寿命を延ばす仕組みを持ちます。立ち上がり・立ち下がりが早く、近赤外線の放射熱を利用した非接触加熱の為、安全且つCO2放出削減にも効果があります。精密性が求められる半導体製造プロセスに欠かせない光源です。
特長
- お客様のニーズにあったランプを設計・製造致します。
仕様
- 詳細については、お問い合わせ下さい。
用途例
- 加熱
- 乾燥
- エピタキシャル成長装置